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低溫煙氣脫硫脫硝技術(shù)以低溫氧化技術(shù)為簡單有效，由于煙氣中的氮氧化物主要組成是NO（占95%），NO難溶于水，而高價態(tài)的NO₂、N₂O₅等可溶于水生成HNO₂和HNO₃，溶解能力大大提高，很容易通過堿液噴淋等手段將其從煙氣中脫出。將煙氣中的NO轉(zhuǎn)化為高價態(tài)，需引入較強的氧化劑，在眾多氧化劑中，臭氧是環(huán)保清潔的強氧化劑，在高效轉(zhuǎn)化NO至高價態(tài)的過程中不遺留任何二次污染物，另外不同于?OH、?HO₂ 等，工作環(huán)境惡劣，自由基存活時間非常短，能耗較高，O₃的生存周期相對較長，將少量氧氣或空氣電離后產(chǎn)生O₃，然后送入煙氣中，可顯著降低能耗。