電廠脫硫脫硝技術(shù)之電子束脫硫脫硝工藝電子束脫硫脫硝工藝開(kāi)發(fā)于20世紀(jì)70年代的日本，后在美國(guó)和德國(guó)也有研究，經(jīng)過(guò)多年的研究開(kāi)發(fā)，已從小試、中試和工業(yè)示范逐步走向工業(yè)化。該法系統(tǒng)簡(jiǎn)單，操作方便，對(duì)于煤種和煙氣量的變化有較好的適應(yīng)性，可達(dá)到90%以上的脫硫效率和80%以上的脫硝效率。

電子束輻射技術(shù)脫硫脫硝的工藝流程是燃煤鍋爐排出的煙氣經(jīng)除塵后，進(jìn)入冷卻塔，在塔中由噴霧水冷卻到65~70℃，在煙氣進(jìn)入反應(yīng)器之前，注入接近化學(xué)計(jì)量比的氨氣，然后在反應(yīng)器中接受高能電子束照射，使煙氣中的N2、O2和水蒸氣等發(fā)生輻射反應(yīng)，生成大量的自由基、原子、電子和各種激發(fā)態(tài)的原子、分子等活性物質(zhì)，它們將煙氣中的SO2和NO氧化為SO3和NO2，這些高價(jià)的硫氧化物和氮氧化物與水蒸氣反應(yīng)生成霧狀的硫酸和硝酸，這些酸再與事先注入反應(yīng)器的氨反應(yīng)，生成硫銨和硝銨，凈化后的煙氣經(jīng)煙囪排放。