電廠脫硫脫硝技術之電子束脫硫脫硝工藝電子束脫硫脫硝工藝開發于20世紀70年代的日本，后在美國和德國也有研究，經過多年的研究開發，已從小試、中試和工業示范逐步走向工業化。該法系統簡單，操作方便，對于煤種和煙氣量的變化有較好的適應性，可達到90%以上的脫硫效率和80%以上的脫硝效率。

電子束輻射技術脫硫脫硝的工藝流程是燃煤鍋爐排出的煙氣經除塵后，進入冷卻塔，在塔中由噴霧水冷卻到65~70℃，在煙氣進入反應器之前，注入接近化學計量比的氨氣，然后在反應器中接受高能電子束照射，使煙氣中的N2、O2和水蒸氣等發生輻射反應，生成大量的自由基、原子、電子和各種激發態的原子、分子等活性物質，它們將煙氣中的SO2和NO氧化為SO3和NO2，這些高價的硫氧化物和氮氧化物與水蒸氣反應生成霧狀的硫酸和硝酸，這些酸再與事先注入反應器的氨反應，生成硫銨和硝銨，凈化后的煙氣經煙囪排放。